学院发展

您当前所在位置: 首页 > 学院发展 > 科学研究 > 科研成果 > 正文

第三代半导体发光器件衬底研究

2023-04-26

第三代半导体发光器件是信息时代和智能时代的核心光电子器件,在固态照明、新型显示、环境卫生、消费电子等高技术领域具有重大应用。衬底决定发光器件的关键性能和应用场景,高质量衬底制备是实现高性能第三代半导体发光器件必须攻克的核心和瓶颈技术。

凝聚态物理与材料物理研究所王新强、沈波等人立足科技前沿,围绕第三代半导体发光器件衬底的界面调控和位错湮灭等科学技术问题开展了系统研究,埋头苦干,开拓创新,协同互补,取得了系列原创成果;在此基础上,注重市场导向,与中图半导体、中镓半导体、北京大学东莞光电研究院等合作,发明了适用于低成本异质外延路线的复合材料衬底制备技术、低维材料辅助氮化镓(GaN)单晶衬底制备技术、激光剥离结合二次外延的GaN单晶衬底制备技术,大尺寸高质量AlN复合衬底制备技术,有力推动了我国第三代半导体发光器件的发展。部分研究成果获2022年度中国光学学会光学科技奖应用成果类一等奖。